3D光学表面轮廓粗糙度仪是一款集成表面粗糙度和轮廓测量的测量仪器。采用进口高精度光栅测量系统、高精度研磨导轨、高性能非接触直线电机、音圈电机测力系统、高性能计算机控制系统技术，实现对各种工件表面粗糙度和轮廓进行测量和分析。通过高精度研磨导轨、高性能直线电机保证测量的高稳定性及直线度，采用进口高精度光栅测量系统建立工件表面轮廓的二维坐标，计算机通过修正算法对光栅数据进行修正，还原出工件轮廓信息并以曲线图显示出来，通过软件提供的分析工具可对轮廓进行各种参数分析。
表面轮廓粗糙度仪为全自动测量设备，操作者只需装好被测工件，在检定软件上设定扫描的开始、结束位置，点击“开始”按钮，测针会自动接触工件表面，并按设定的位置扫描；可高精度地测量精密加工零部件的粗糙度和轮廓形状，再选择所需评价参数即可进行评价。
3D光学表面轮廓粗糙度仪能实现下列功能：
1.建立回归直线和圆形；
2.建立点、交点、自由点、中心点、高点和低点；
3.建立坐标系统；
4.计算半径、距离、角度、坐标及线性偏差；
5.实际值与标称值比较；
6.测量程序自动运行；
7.表面粗糙度评定：Ra、Rz、Rt、RS、RSm、Rp、Rv、Rq、Rt、Rmax、D、Rmr曲线、Rdc等；
8.滤波：2RC滤波，高斯滤波和零相位滤波器；
9.测量记录采用集中式数据库管理，可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检测员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理测量记录；
10.可从数据库中选定多条记录成批打印测量记录；
11.可将检定数据输出到Word、Excel、AutoCAD（选配）文档；
12.具有数据备份和还原数据库功能。
3D光学表面轮廓粗糙度仪的主要应用：
1.台阶高度：2D和3D台阶高度；
2.纹理：2D和3D粗糙度和波纹度；
3.形状：2D和3D翘曲和形状；
4.应力：2D和3D薄膜应力；
5.缺陷复检：2D和3D缺陷表面形貌；
6.大学、研究实验室和研究所；
7.半导体和化合物半导体；
8.LED：发光二极管；
9.太阳能；
10.MEMS：微机电系统。
