德国LAMTECH平面度测量仪
LAMTECH平面度快速测量机，采用掠入射光干涉原理，专注于高精密加工表面平面度快速测量评估, 广泛应用于航空航天，汽车工业喷油嘴行业，泵、阀门密封件表面，以及光学工程，激光工程等领域。
LAMTECH平面度快速测量机 | 平坦度仪|平整度仪高精密非接触测量半导体晶圆(wafers)、玻璃(glass)、密封件表面、陶瓷表面、高精密机械表面等行业的平面度测量。
德国LAMTECH平面度测量仪，快速检测平面度，是由德国LAMTECH公司研发生产，德国品质，值得信赖。
德国LAMTECH平面度测量仪特点：
◆ 非接触式平面度测量接触
◆ 高精密评估: ＜0.4μm
◆ 测量速度快: ＜3秒
◆ 可用于车间现场, 100%全检
◆ 平面度评估符合ISO/TS12781-1(FLTt)
◆ 三维形貌评估软件, 可支持CNC编程批量检测
◆ 表面自动识别系统, 或手动区域(圆, 圆环, 矩形区域)评估
◆ 数据采集量大, 一次完成对300,000点的评估
◆ 快速生成报告并保存为.csv数据格式, 支持Q-das等统计分析软件
◆ 广泛应用于抛光, 研磨或细磨精密表面, 像阀门盘, 密封环等
平面度检测仪技术参数：
型 号 | TOPOS 50 | TOPOS 100 | |
测量范围(直径) | 50mm | 100mm | |
参考平面平面度 | 优于0.06μm | ||
参考面材料 | 石英玻璃 | ||
灵敏度 | 0.5,1,2或4μm每纹 | ||
精度 | (0.1??0.4)um + 2%x测量值, 基于灵敏度 | ||
Z轴波动范围 | 低于100um, 表面斜度所限制 | ||
FLTt重复性 | 优于0.01μm1) | ||
分辨率 | 优于0.01μm | ||
数据采集量 | 300,000点 | ||
测量时间 | 小于2s | ||
整体尺寸 | 560mm X 300mm X 400mm | 680mm X 440mm X 880mm | |
重量 | 34kg | 80kg | |
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